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プラズマエッチング装置はどらいエッチング装置の一种で、反応性ガスによる低温プラズマ中の活性化原子(ラジカル)と试料の化学反応により挥発性化合物を作り试料を加工する技术である。
最佳答案：
等离子蚀刻设备是蚀刻设备中的一种，是加工根据反应性气体的低温等离子体中的活化原子(游离基)和试料的化学反应所产生的挥发性化合物试料的技术。
其 他 回 答: (共2条)
1楼
他毫不犹豫地说了蚀刻设备等离子了蚀刻设备的一种,反应性气体的低温等离子的活性化原子所)和试料的化学反应波动化合物,试料加工技术。